勻膠機 型號： SC/1B

技術指標及配置：
　　1. 用于Φ5至Φ100mm硅片及其它材料等勻膠
　　2. 采用變頻器控制電機轉速，可實現均勻調速。轉速及其勻膠時間分別設置，可同時輸入七組數值，即轉速及勻膠時間可任意設置為Ⅰ檔、Ⅱ檔、……Ⅶ檔，從而達到啟動后先低速運轉(Ⅰ檔)，然后自動執行Ⅱ檔、……直至達到高速運轉。轉速設置范圍: 300轉/分(或更低) ～ 8000轉/分勻膠時間設置范圍: 1～3600秒。
　　3. 轉速穩定度：±1%
　　4. 膠的均勻性：±3%
　　5. 電機功率：90W
　　6. 樣片托： 1吋、2吋各一個
　　7. FY-1 機泵一個(0.5升/秒)
　　8.整機重量：9公斤

烘膠臺 智能烘膠臺  型號：BP/2B

產品主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜。本產品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間連續穩定工作。本產品操作方便、穩定性高，具有較高的性能價格比，可廣泛應用于科研和生產。
烘膠板材料不銹鋼
烘膠板規格ø200mm
烘烤溫度≤200℃
控溫精度±2℃
控溫形式采用溫控儀PID調節（功率調節），自動測溫，控溫
外形尺寸280×360×220mm